中国科学院科学家开发出紧凑型固态激光系统 (2025年3月26日)

中国科学院科学家开发出紧凑型固态激光系统，能够产生193纳米的相干涡旋光束，极大提升了激光的相干性并降低了功耗。该激光系统采用自制的Yb:YAG晶体放大器，输出1030纳米激光，通过级联LBO晶体实现193纳米激光，平均功率达70毫瓦，线宽小于880 MHz。该技术对于光刻等高精度制造工艺具有重要应用价值。